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真空镀膜扩散泵使用变频电磁加热器进行节能改造会有什么效果?

传统的真空镀膜扩散泵以电阻丝加热较为普遍,电阻丝加热方式通过烧红来烘烤真空锅炉底部,从而加热里面的导热油来使扩散泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。但电阻丝加热热转换效率低,并且有很大一部分热量消散在空气中,造成了能源的浪费。而且,电阻丝的加热温度是不均匀的,所有会造成锅炉内泵油的不稳定沸腾,在真空中,强力的爆沸,会引起自爆升腾,对喷咀,引起瞬间堵塞,造成气流波动。而电阻丝真空镀膜扩散泵改用电磁感应加热后有着以下好处:

4、升温速度快,一台直径800mm的扩散泵经过电磁加热器节能改造后,只需35-40分钟内即可升温到230度,每小时用电7-8度;

7、电磁加热用的线盘热量低的,设备停机后很快就可以把冷却泵停掉,从而也节省了冷却泵的用电量;

8、电磁加热对镀材纯度的蒸发要求达到99.9%就可以了,而且蒸发温度温度,可避免镀材的飞溅现象,薄膜不会出现针孔的效果,提高了产品的合格率!

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